由大量具有相等寬度和相等間距的平行狹縫組成的光學器件稱為光柵。常用的光柵是通過在玻璃板上雕刻大量平行刻痕而制成的?？毯凼遣煌该鞯牟糠郑⑶覂蓚€刻痕之間的光滑部分可以透射光，這相當于狹縫。精制的光柵在1厘米寬的范圍內(nèi)具有成千上萬個缺口。

　　這種使用透射光進行衍射的光柵稱為透射光柵。也有光柵使用在兩個凹口之間衍射的反射光。例如，在鍍有金屬層的表面上刻有許多平行的凹口，并且在兩個凹口之間存在光滑的金屬。表面可以反射光，并且該光柵成為反射光柵。

　　光柵傳感器的特點：

　?。?）精度高。在大范圍內(nèi)測量長度或線性位移方面，光柵傳感器僅次于激光干涉?zhèn)鞲衅?。在圓分度和角位移的連續(xù)測量中，光柵傳感器是最精確的。

　　（2）高分辨率的大范圍測量。感應同步磁傳感器和磁性光柵傳感器也具有測量范圍大的特點，但分辨率和精度均不如光柵傳感器。

　?。?）可以實現(xiàn)動態(tài)測量，并且易于實現(xiàn)測量和數(shù)據(jù)處理的自動化。

　?。?）具有很強的抗干擾能力。對環(huán)境條件的要求不像激光干涉?zhèn)鞲衅髂敲磭栏?，但是卻不如感應同步和磁柵傳感器那樣適應。油和灰塵會影響其可靠性。主要適用于環(huán)境較好的實驗室和車間。