薄膜技術(shù)的發(fā)展催生了目前許多不同行業(yè)使用的一些最先進(jìn)的傳感器。薄膜傳感器精確、穩(wěn)定、可靠且便宜，與傳統(tǒng)傳感器相比具有眾多優(yōu)勢(shì)。薄膜傳感器的大多數(shù)應(yīng)用都利用其小尺寸和為工程師提供的選擇——其獨(dú)特的外殼對(duì)于特定應(yīng)用來(lái)說(shuō)是特別有用的功能。

　薄膜傳感器技術(shù)的一些更有趣的用途在于醫(yī)療領(lǐng)域。當(dāng)醫(yī)用泵和灌溉系統(tǒng)因管道堵塞或泵故障而中斷時(shí)，可能會(huì)造成毀滅性甚至致命的后果。醫(yī)療設(shè)備工程師經(jīng)常使用“管傳感器”來(lái)跟蹤這些泵系統(tǒng)中的壓力。這些傳感器的工作原理是測(cè)量傳感器上的壓力，傳感器放置在聚氨酯或PVC管的加寬壁上。設(shè)備制造商還可能在泵后面放置一個(gè)傳感器，以跟蹤泵在運(yùn)行過(guò)程中推動(dòng)傳感器時(shí)的壓力。

　薄膜傳感器已表現(xiàn)出在這些和其他應(yīng)用中有效所需的必要的可重復(fù)性、耐用性和精度。薄膜壓力傳感器通常用于工業(yè)應(yīng)用，特別是液壓設(shè)備和車(chē)輛，如起重機(jī)、壓路機(jī)、叉車(chē)和農(nóng)業(yè)機(jī)械。這是因?yàn)橐簤合到y(tǒng)的所有基本功能都需要精確跟蹤液壓。

　相對(duì)于傳統(tǒng)傳感器，薄膜傳感器存在的優(yōu)勢(shì)

　與傳統(tǒng)傳感器相比，薄膜傳感器器件具有許多優(yōu)點(diǎn)。薄膜技術(shù)使得傳感器元件變得特別小和緊湊，同時(shí)在精度和持久穩(wěn)定性方面保留了令人印象深刻的屬性。薄膜可以沉積并熔合到多種基材上，包括陶瓷材料和高級(jí)特種鋼。研究表明，這些傳感器的響應(yīng)時(shí)間更加快速和準(zhǔn)確，而尺寸允許緊密放置并減少對(duì)外部電路的需求。

　用于生產(chǎn)薄膜傳感器的生產(chǎn)方法現(xiàn)已成熟，可以高效、低成本且規(guī)格非常精確。薄膜生產(chǎn)方式有許多優(yōu)點(diǎn)。眾多主要優(yōu)點(diǎn)之一是換能器和沉積薄膜之間的真正分子鍵。這種彎曲/介電界面不含任何可能吸收水分或隨著時(shí)間的推移發(fā)生反應(yīng)的有機(jī)材料和氧氣。濺射薄膜傳感器可以抵抗與粘合箔測(cè)量?jī)x中的有機(jī)背襯材料相關(guān)的問(wèn)題。不含有機(jī)物也意味著這些設(shè)備能夠在極端溫度下運(yùn)行。

　薄膜傳感器是通過(guò)濺射工藝將材料直接沉積到真空沉積室中的固定裝置上而生產(chǎn)的。濺射系統(tǒng)可以進(jìn)行過(guò)程控制，從而可以以高度可重復(fù)性生產(chǎn)薄膜。與標(biāo)準(zhǔn)儀表相比，在生產(chǎn)中通?？梢詫?shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的電橋電阻和零平衡控制。薄膜沉積速率幾乎與輸入功率成線性關(guān)系，并且速率可以適當(dāng)減慢，以便可以在短時(shí)間內(nèi)利用低功率沉積非常薄的薄膜。通過(guò)調(diào)整濺射參數(shù)，可以創(chuàng)建標(biāo)準(zhǔn)電橋以滿足具有挑戰(zhàn)性的絕緣電阻要求。